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Resumen:
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En el proceso de refinado de chips, las mediciones de la capacidad primaria, el freeness, es a menudo constreñida por la limitación de la disponibilidad de un sensor de línea confiable y por el tiempo para lograr los resultados del ensayo. El método de control inferencial adaptativo soluciona esta limitación midiendo en una toma rápida de la salida del secundario, y el resultado es inferido a la salida del primario para un control de retroalimentación o el rechazo del distirbio. La tarea es llevada a cabo por la identificación en línea de dos modelos con diferentes períodos de muestreo. Uno de ellos predice la salida controlada entre las instancias de muestreo , usando el valor real de la salida secundaria que está corrientemente disponible, mientras la síntesis de control está basada en el otro modelo, que utiliza la salida controlada predicha por el primer modelo.
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